公司介紹: 上海茂竺以高端技術產品和技術服務相輔并進的快速發展模式。 為半導體、醫藥及生物芯片等行業提供廠務所必需的潔凈材料部件(隔膜閥、EP(BA)管道等)以及特殊氣體設備[例如特氣柜(GAS CABINET) 、閥門箱(VMB)],化學品供應系統(例如CDU、TEE-BOX、SAMPLING BOX)。 上海茂竺信奉以客戶為中心的服務理念,提供設備安裝及二次配管等一系列高純系統的整體解決方案,具體內容覆蓋了從方案設計到安裝、測試等方面。 茂竺電子通過控制項目的重復設計和建設,達到花費項目資金和周期的最小化。 我們主要服務于以下各行業: 高亮度發光二極管外延HB-LED: 主要工藝設備 MOCVD 光刻機等 有機發光二極管OLED: PECVD, 濺射臺,蒸發臺OLED臺,OTFT臺, 太陽能電池:主要工藝設備 PECVD,SPUTTER等 硅外延:外延爐 微機電系統MEMS:主要工藝設備RIE,LPCVD,ICP,等離子清洗機,濺射機等 醫藥及生物芯片: 平面及等離子顯示器: 化工: 其他材料薄膜制造設備:APCVD,LPCVD,MBE,HVPE等。 特氣設備及潔凈部件(特氣鋼瓶柜、閥門箱)主要用于控制高純特殊氣體,又稱電子特氣,包括氫氣H2、氮氣N2、氧氣O2、 氬氣Ar、磷烷PH3、砷烷AsH3、硅烷SiH4、乙硼烷B2H6、氨氣NH3、三氯一氫硅烷TCS、Freon氟利昂氣體、 氯氣CL2、氯化氫氣體HCL、三氯化硼BCL3、三甲基硼TMB、硼烷B2H6、二氯二氫硅烷DCS等等多種氣體或液化氣體。 同時,提供危險氣體的泄漏探測器(探測系統)及一般氣體的濃度偵測等服務。
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